無油真空泵是一種無需任何油作潤滑就能運轉(zhuǎn)工作的機械真空泵，N用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應(yīng)用范圍非常廣泛獲得真空的基本設(shè)備。
它的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。
帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復(fù)始運轉(zhuǎn)，進行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
無油真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。
在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止***溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
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