真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。
真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。
隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。
極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。
噴射真空泵工作原理：蒸汽噴射真空泵有一定壓強(qiáng)的工作的真空泵設(shè)備，蒸汽通過(guò)拉瓦爾噴咀，減壓增速，蒸汽的勢(shì)能轉(zhuǎn)變?yōu)閯?dòng)能并以超音速噴入混合室，與被抽介質(zhì)混合，進(jìn)行能量交換，混合后的氣體進(jìn)入擴(kuò)壓器，減速增壓，動(dòng)通轉(zhuǎn)化為壓強(qiáng)能，為了減少后級(jí)泵的抽氣負(fù)荷，配置冷凝器，通過(guò)有一定溫差的兩種介質(zhì)對(duì)流，進(jìn)行熱交換，達(dá)到冷凝高溫介質(zhì)目的，排到大氣壓。
工作原理如下圖所示：
在圓形泵體（A）內(nèi)，在相對(duì)于泵體中心線為偏心的軸上裝有一個(gè)葉輪（B）。
轉(zhuǎn)動(dòng)的葉輪的離心作用迫使工作液通過(guò)通道（D）流向腔體周邊形成環(huán)流（C）。
泵起作用時(shí)，被輸送的氣體混合物經(jīng)過(guò)中間板（E）上的吸入口（H）進(jìn)入葉輪，在泵入口處形成真空。
氣體混合物充入位于液環(huán)內(nèi)徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內(nèi)。
當(dāng)葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，葉輪葉片浸沒(méi)在液環(huán)中的程度增加，而使液環(huán)和葉輪葉片根部之間的容積減少。
結(jié)果是氣體混合物受到壓縮，直至到達(dá)中間板中（K）的排放口（J）。
氣體混合物通過(guò)排放口排出。
在壓縮循環(huán)過(guò)程中，熱傳遞到液環(huán)。
為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點(diǎn)以下，必須進(jìn)行冷卻。
通過(guò)連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來(lái)達(dá)到冷卻的目的。
添加的工作液量與經(jīng)過(guò)排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。
氣體混合物和工作液最終經(jīng)過(guò)泵出口進(jìn)行分離。
液環(huán)泵按不同結(jié)構(gòu)可分成如下幾種類型：
(1) 單級(jí)單作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行一次。
這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。
(2) 單級(jí)雙作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行二次。
在相同的抽速條件下，雙作用液環(huán)泵比單作用液環(huán)泵大大減少尺寸和重量。
由于工作腔對(duì)稱分布于泵輪轂兩側(cè)，改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。
此種泵的抽速較大，效率也較高。
(3)雙級(jí)液環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。
實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)單級(jí)單作用的液環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。
它的主要特點(diǎn)是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。
(4)大氣液環(huán)泵實(shí)際是大氣噴射器串聯(lián)液環(huán)泵的機(jī)組。
液環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高極限真空，擴(kuò)大泵的使用范圍。
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